一、產(chǎn)品介紹

PS-7是一款通過更換傳感器單元可以檢測多種氣體，可通過PDA讀取數(shù)據(jù)。通過更換傳感器就可以檢測多種氣體的半導(dǎo)體材料氣體檢測器；傳感器經(jīng)過校準和交付，無需現(xiàn)場氣體校準。此外，無需工具即可輕松更換傳感器；小巧輕便的設(shè)計；通過LCD顯示屏輕松了解氣體濃度，報警狀態(tài)和錯誤信息；采樣流量的自動控制功能；當插入與設(shè)置不同的傳感器時，傳感器具有防止錯誤插入的功能；通過連接PDA，可以獲取存儲在檢測單元中的數(shù)據(jù)；轉(zhuǎn)換器單元（選件）可用于檢測NF3和CCl2；符合CE標準；符合SEMI標準。產(chǎn)品用于石油化工、半導(dǎo)體制造等。

二、產(chǎn)品特點

帶有氣體采樣流量自動控制功能
LCD顯示，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然
實現(xiàn)小型、輕量化
可簡單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能
可以設(shè)定多樣的維護模式
組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等
實現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)
符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格

三、產(chǎn)品參數(shù)

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帶有氣體采樣流量自動控制功能
LCD顯示，現(xiàn)場狀態(tài)一目了然
實現(xiàn)小型、輕量化
可簡單地更換傳感器和采樣氣路
帶有防止傳感器單元錯誤插入的功能
可以設(shè)定多樣的維護模式
組合對應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測NF3等
實現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)
符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格